气体流量计和气体流量控制器

一、（中国）官方网站概述

-流量计带有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理。

二、典型应用
气体流量计/流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量。它在多个领域的科研和生产中有着重要而
广泛的应用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅
射、离子注入，以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、
混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其
它各种类型的分析仪器。

三、测量原理
微机电系统(MEMS)芯片传感技术，是在硅芯片上集成了具有 机械和电子特征的微米级传感器.它并不是简单地将机械和电子 功能微缩在芯片上，而是采用了现代材料制作技术与大规模集成 电路技术相结合获得新的机电特性。微机电系统芯片可获得某些 宏观机电器件所不能达到的功效.同时采用了多传感器和微热源 技术，使其具备了优良的稳定性、响应时间短和超大量程等特 点。XCS-MFM滚球的十大平台气体质量流呈计主要由电源模块、MEMS流 量传感芯片、信号处理模块、A/D转换模块、EEPROM存储器、 RTC实时时钟模块以及显示模块组成.见右图(图1).
XCS-MFC由流量传感器、分流器通道、流量控制电磁调节 阀和放大控制电路等部件组成。
XCS-MFC利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布。

该（中国）官方网站利用流体流动传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导效应而制成，采用毛细管传热温差 量热法原理测量气体的质量流量，可以在一定范围不受温度压力的影响。将传感器测得的流量检测信号进 行放大。然后与设定的流量电压信号进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通 道的实际流量使之与设定的流量期望值相等。分流器在主通道和毛细管间产生稳定的层流状态，用以调整。